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多晶坩埚漏硅分析

发布时间:2021-01-23 01:51:41

『壹』 石墨坩埚会与石英坩埚发生还原反应而导致漏硅想象

理论上讲如果你把两个坩埚套着用,是的!
二氧化硅被石墨还原生成硅单质和一氧化碳。
所以不要把石墨坩埚和石英坩埚套着用哦。。。会烧漏的!

『贰』 在单晶拉制过程中(炉内冲氩气)石墨坩埚会与石英坩埚发生还原反应而导致漏硅想象

熔硅会与石英坩埚反应生成SiO蒸汽,Si+SiO2→SiO
而石英坩埚分为两层,外层是粗石英砂,与石墨坩埚接触,内存透明层与熔硅接触,外层粗石英砂隔绝了透明层与石墨锅的反应,所以是不会发生漏硅的!

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