光刻膠用線性酚醛樹脂價格

1. 線性酚醛樹脂與環氧丙烷可以反應嗎

常溫反應很慢，加熱時可以的，但是環氧丙烷不同於環氧樹脂，沸點低，要冷凝迴流。活性肯定比環氧樹脂大，畢竟是小分子。環氧酚醛膠就是將兩者混合加一些固化劑，模壓固化，一般用在耐高溫材料的粘合，環氧丙烷活性更高，環氧基會同酚醛樹脂中的羥甲基開環的。

2. 光刻膠正膠與酒精反應嗎

經過光反應後部分可以溶解，可以通過飛秒檢測鑒定其結構和變化，正性光刻膠也稱為正膠。正性光刻膠樹脂是一種叫做線性酚醛樹脂的酚醛甲醛，提供光刻膠的粘附性、化學抗蝕性，當沒有溶解抑制劑存在時，線性酚醛樹脂會溶解
在顯影液中；感光劑是光敏化合，最常見的是重氮萘醌（DNQ）。在曝光前，DNQ是一種強烈的溶解抑制劑，降低樹脂的溶解速度。在紫外曝光後，DNQ在光刻膠中化學

分解，成為溶解度增強劑，大幅提高顯影液中的溶解度因子至100或者更高。這種曝光反應會在DNQ中產生羧酸，它在顯影液中溶解度很高。正性光刻膠具有很
好的對比度，所以生成的圖形具有良好的解析度。

3. 光刻膠的作用

光刻開始於一種稱作光刻膠的感光性液體的應用。圖形能被映射到光刻膠上，然後用一個developer就能做出需要的模板圖案。光刻膠又稱光致抗蝕劑，是以智能管感光材料，在光的照射與溶解度發生變化。
光刻膠成份
光刻膠通常有三種成分：感光化合物、基體材料和溶劑。在感光化合物中有時還包括增感劑。根據光刻膠按照如何響應紫外光的特性可以分為兩類：負性光刻膠和正性光刻膠。
1、負性光刻膠
主要有聚肉桂酸系（聚酯膠）和環化橡膠系兩大類，前者以柯達公司的KPR為代表，後者以OMR系列為代表。
2、正性光刻膠
主要以重氮醌為感光化合物，以酚醛樹脂為基體材料。最常用的有AZ-1350系列。正膠的主要優點是解析度高，缺點是靈敏度、耐刻蝕性和附著性等較差。
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光刻膠的特點
1、在光的照射下溶解速率發生變化，利用曝光區與非曝光區的溶解速率差來實現圖形的轉移；
2、溶解抑制/溶解促進共同作用；
3、作用的機理因光刻膠膠類型不同而不同；
光刻膠的主要技術參數
1、解析度：區別矽片表面相鄰圖形特性的能力，一般用關鍵尺寸來衡量解析度。形成的關鍵尺寸越小，光刻膠的解析度越好。
2、對比度：指光刻膠從曝光區到非曝光區過渡的陡度。對比度越好，形成圖形的側壁越陡峭，解析度越好。
3、敏感度：光刻膠上產生一個良好的圖形所需一定波長的最小能量值（或最小曝光量）。單位：毫焦/平方厘米或mJ/cm2。光刻膠的敏感性對於波長更短的深紫外光（DUV）、極深紫外光（EUV）等尤為重要。
4、粘滯性/黏度：衡量光刻膠流動特性的參數。粘滯性隨著光刻膠中的溶劑的減少而增加；高的粘滯性會產生厚的光刻膠；越小的粘滯性，就有越均勻的光刻膠厚度。
5、粘附性：表徵光刻膠粘著於襯底的強度。光刻膠的粘附性不足會導致矽片表面的圖形變形。
6、抗蝕性：光刻膠必須保持它的粘附性，在後續的刻蝕工序中保護襯底表面。
7、表面張力：液體中將表面分子拉向液體主體內的分子間吸引力。光刻膠應該具有比較小的表面張力，使光刻膠具有良好的流動性和覆蓋。
8、存儲和傳送：能量可以激活光刻膠。應該存儲在密閉、低溫、不透光的盒中。同時必須規定光刻膠的閑置期限和存貯溫度環境。
光刻膠的主要作用
1、將掩膜板上的圖形轉移到矽片表面的氧化層；
2、在後續工序中，保護下面的材料（刻蝕或離子注入）。

4. 電子酚醛樹脂生產出的光刻膠與環氧樹脂做出來的光刻膠有啥區別

酚醛樹脂（又稱電木，電木粉）是一種無色或黃褐色的透明物，耐弱酸和弱鹼，遇強酸發生分解，遇強鹼發生腐蝕，不溶於水，溶於丙酮、酒精等有機溶劑中。 酚醛樹脂是由苯酚醛或其衍生物縮聚而得。

5. 什麼是光刻膠以及光刻膠的種類

光刻膠是一種有機化合物，它受紫外光曝光後，在顯影液中的溶解度會發生變化。一般光刻膠以液態塗覆在矽片表面上，曝光後烘烤成固態。 1、光刻膠的作用： a、將掩膜板上的圖形轉移到矽片表面的氧化層中； b、在後續工序中，保護下面的材料（刻蝕或離子注入）。2、光刻膠的物理特性參數： a、解析度（resolution）。區別矽片表面相鄰圖形特徵的能力。一般用關鍵尺寸（CD，Critical Dimension）來衡量解析度。形成的關鍵尺寸越小，光刻膠的解析度越好。 b、對比度（Contrast）。指光刻膠從曝光區到非曝光區過渡的陡度。對比度越好，形成圖形的側壁越陡峭，解析度越好。 c、敏感度（Sensitivity）。光刻膠上產生一個良好的圖形所需一定波長光的最小能量值（或最小曝光量）。單位：毫焦/平方厘米或mJ/cm2。光刻膠的敏感性對於波長更短的深紫外光（DUV）、極深紫外光（EUV）等尤為重要。 d、粘滯性/黏度（Viscosity）。衡量光刻膠流動特性的參數。粘滯性隨著光刻膠中的溶劑的減少而增加；高的粘滯性會產生厚的光刻膠；越小的粘滯性，就有越均勻的光刻膠厚度。光刻膠的比重（SG，Specific Gravity）是衡量光刻膠的密度的指標。它與光刻膠中的固體含量有關。較大的比重意味著光刻膠中含有更多的固體，粘滯性更高、流動性更差。粘度的單位：泊（poise），光刻膠一般用厘泊（cps，厘泊為1%泊）來度量。百分泊即厘泊為絕對粘滯率；運動粘滯率定義為：運動粘滯率=絕對粘滯率/比重。單位：百分斯托克斯（cs）＝cps/SG。 e、粘附性（Adherence）。表徵光刻膠粘著於襯底的強度。光刻膠的粘附性不足會導致矽片表面的圖形變形。光刻膠的粘附性必須經受住後續工藝（刻蝕、離子注入等）。 f、抗蝕性（Anti-etching）。光刻膠必須保持它的粘附性，在後續的刻蝕工序中保護襯底表面。耐熱穩定性、抗刻蝕能力和抗離子轟擊能力。 g、表面張力（Surface Tension）。液體中將表面分子拉向液體主體內的分子間吸引力。光刻膠應該具有比較小的表面張力，使光刻膠具有良好的流動性和覆蓋。 h、存儲和傳送（Storage and Transmission）。能量（光和熱）可以激活光刻膠。應該存儲在密閉、低溫、不透光的盒中。同時必須規定光刻膠的閑置期限和存貯溫度環境。一旦超過存儲時間或較高的溫度范圍，負膠會發生交聯，正膠會發生感光延遲。3、光刻膠的分類 a、根據光刻膠按照如何響應紫外光的特性可以分為兩類：負性光刻膠和正性光刻膠。 負性光刻膠（Negative Photo Resist）。最早使用，一直到20世紀70年代。曝光區域發生交聯，難溶於顯影液。特性：良好的粘附能力、良好的阻擋作用、感光速度快；顯影時發生變形和膨脹。所以只能用於2μm的解析度。 正性光刻膠（Positive Photo Resist）。20世紀70年代，有負性轉用正性。正性光刻膠的曝光區域更加容易溶解於顯影液。特性：解析度高、台階覆蓋好、對比度好；粘附性差、抗刻蝕能力差、高成本。 b、根據光刻膠能形成圖形的最小光刻尺寸來分：傳統光刻膠和化學放大光刻膠。 傳統光刻膠。適用於I線（365nm）、H線（405nm）和G線（436nm），關鍵尺寸在0.35μm及其以上。 化學放大光刻膠（CAR，Chemical Amplified Resist）。適用於深紫外線（DUV）波長的光刻膠。KrF（248nm）和ArF（193nm）。4、光刻膠的具體性質 a、傳統光刻膠：正膠和負膠。光刻膠的組成：樹脂（resin/polymer），光刻膠中不同材料的粘合劑，給與光刻膠的機械與化學性質（如粘附性、膠膜厚度、熱穩定性等）；感光劑，感光劑對光能發生光化學反應；溶劑（Solvent），保持光刻膠的液體狀態，使之具有良好的流動性；添加劑（Additive），用以改變光刻膠的某些特性，如改善光刻膠發生反射而添加染色劑等。 負性光刻膠。樹脂是聚異戊二烯，一種天然的橡膠；溶劑是二甲苯；感光劑是一種經過曝光後釋放出氮氣的光敏劑，產生的自由基在橡膠分子間形成交聯。從而變得不溶於顯影液。負性光刻膠在曝光區由溶劑引起泡漲；曝光時光刻膠容易與氮氣反應而抑制交聯。 正性光刻膠。樹脂是一種叫做線性酚醛樹脂的酚醛甲醛，提供光刻膠的粘附性、化學抗蝕性，當沒有溶解抑制劑存在時，線性酚醛樹脂會溶解在顯影液中；感光劑是光敏化合物（PAC，Photo Active Compound），最常見的是重氮萘醌（DNQ），在曝光前，DNQ是一種強烈的溶解抑制劑，降低樹脂的溶解速度。在紫外曝光後，DNQ在光刻膠中化學分解，成為溶解度增強劑，大幅提高顯影液中的溶解度因子至100或者更高。這種曝光反應會在DNQ中產生羧酸，它在顯影液中溶解度很高。正性光刻膠具有很好的對比度，所以生成的圖形具有良好的解析度。 b、化學放大光刻膠（CAR，Chemical Amplified Resist）。樹脂是具有化學基團保護（t-BOC）的聚乙烯（PHS）。有保護團的樹脂不溶於水；感光劑是光酸產生劑（PAG，Photo Acid Generator），光刻膠曝光後，在曝光區的PAG發生光化學反應會產生一種酸。該酸在曝光後熱烘（PEB，Post Exposure Baking）時，作為化學催化劑將樹脂上的保護基團移走，從而使曝光區域的光刻膠由原來不溶於水轉變為高度溶於以水為主要成分的顯影液。化學放大光刻膠曝光速度非常

6. 電子束曝光pmma光刻膠使用什麼顯影液

光刻膠（英語：photoresist），亦稱為光阻或光阻劑，是指通過紫外光、深紫外光、電子束、離子束、X射線等光照或輻射，其溶解度發生變化的耐蝕刻薄膜材料，是光刻工藝中的關鍵材料，主要應用於集成電路和半導體分立器件的細微圖形加工。

7. 我國拿下哪一項「制芯」關鍵技術

「PM2.5，是大家很熟悉的微小顆粒物，直徑小於或等於2.5微米。但我們研製這種製造晶元的關鍵材料，在過程中如果進入了哪怕PM1.0的粉塵，這個材料就是廢品，就不能被應用到晶元當中。」

唐一林簡單一句話，道出了集「超純凈」與「超均勻」於一體的制芯新材料——「光刻膠用線性酚醛樹脂」對環境的苛刻要求。5月初，這位亞洲最大酚醛樹脂生產基地的掌舵者告訴媒體，歷時26年，用於晶元製作的國產高端電子樹脂研製成功。專家認為，這種高端材料打破了美日等國壟斷，可大大加速我國自主晶元的研製進度。

作為晶元的核心材料，光刻膠及光刻膠用樹脂的技術曾長期由國外壟斷，中國長期依賴進口。1992年，唐一林開始組建團隊，著手酚醛樹脂的研發，並嘗試進行生產，但由於生產裝備落後，不掌握核心技術等原因，他們經歷了許多挫折，未能做出好的產品。無奈之下，只能將目光投向海外。1997年，經過嚴謹甄選，多輪談判，聖泉最終與英國海沃斯礦物及化學品有限公司達成了合作，引進了英國最先進的酚醛樹脂生產技術。

「核心技術受制於人是最大的隱患，而核心技術靠化緣是要不來的，只有自力更生。」作為過來人，唐一林深刻理解這句話的內涵。

在引進外智的同時，他沒有放下自主力量，引進了以原天津樹脂廠總工李乃寧高工為首的一系列研發骨幹；2007年，與中科院化學所合作成立了「酚醛樹脂技術研究中心」，引進並開發了包括火箭耐燒蝕材料在內的多個航天及軍工項目；之後，建成了博士工作站，與多個院校開展了產學研合作；2011年，又引進了日本先進的環氧樹脂生產技術，建成了國內最大的電子級特種環氧樹脂車間……

2017年，按照全球公認的獨角獸劃分標准，聖泉被中國證監會下屬的全國中小企業股份轉讓系統公司官方認定為「獨角獸」。而此時，他們的自主酚醛，已在多個國字型大小工程中充當大任。其中，先進樹脂材料——輕芯鋼服務於高鐵、磁懸浮列車；最新開發的特種樹脂和高端復合材料打破國外技術壟斷，已經被應用於國家航空航天器、火箭及導彈等軍工製品中；酚醛微球自「神舟八號」開始，連續被用於「神舟」系列中。

「中國從不缺乏晶元技術，也不缺乏晶元用材料，缺乏的是晶元鏈條上的企業擰成一股繩兒的聚合力，缺乏的是企業向深處鑽研的耐力。」利用26年探索終於磨礪出自己的「制芯」關鍵材料。唐一林認為：「我們之所以能研發成功，就是因為這個科研團隊有一股沒有突破絕不回頭的耐力。這可以為任重道遠的中國晶元科研提供些許參考。」

8. 酚醛樹脂膠的性能調查

性能穩定，市場看好，污染嚴重！