Ⅰ 研磨抛光液的分类
研磨液按其作用机理分:机械作用研磨液,化学机械作用研磨液。
机械作用的研磨液:以金刚石、B4C等为磨料,通过添加分散剂等方式分散到液体介质中,从而形成具有磨削作用的液体,称为金刚石研磨液、碳化硼研磨液等。磨料在分散液中游离分布,利用磨料硬度比待磨工件硬度大的原理,实现工件的研磨、减薄。根据磨料的表面、颗粒大小及研磨液配置、研磨设备稳定性等情况,研磨完成后,工件表面容易留下或大或小的划痕。所以,机械作用的研磨液一般用于粗磨,后续还需要精密研磨抛光。
化学机械作用研磨液:化学机械作用研磨液利用了磨损中的“软磨硬”原理,即用较软的材料来进行抛光以实现高质量的抛光表面,是机械削磨和化学腐蚀的组合技术,它借助超微粒子的研磨作用和化学腐蚀作用在被研磨的介质表面形成光洁平坦表面。所以化学机械作用研磨液又称为化学机械抛光液(Chemical Mechanical Polishing,简称CMP)。在一定压力及抛光浆料存在下,被抛光工件相对于抛光垫作相对运动,借助于纳米粒子的研磨作用与氧化剂的腐蚀作用之间的有机结合,在被研磨的工件表面形成光洁表面。
化学机械抛光液(CMP)根据磨料不同的分类:
二氧化硅研磨液 ,氧化铈研磨液,氧化铝研磨液等。
金刚石研磨液根据磨料不同的分类:
金刚石研磨液是由金刚石磨料与分散液组成,根据金刚石微粉的类型分为单晶金刚石研磨液、多晶金刚石研磨液和爆轰纳米金刚石研磨液三种。
金刚石研磨液的应用:
1、单晶金刚石研磨液
单晶金刚石研磨液具有良好的切削力,加工成本相对较低。广泛适用于超硬材料、硬质合金等硬质材料的研磨抛光。既可以提高磨削速率,又可以将磨削过程中产生的大量热量迅速排走,从而避免工件表面被烧伤。
2、多晶金刚石研磨液
多晶金刚石研磨液利用多晶金刚石良好的韧性,在研磨抛光过程中能够保持高磨削力的同时不易产生划伤,为后续精密抛光加工提供了良好的条件。广泛用于光学晶体、陶瓷、超硬合金等各种硬质材料的研磨和抛光。
3、纳米金刚石研磨液
纳米金刚石研磨液是由爆轰金刚石微粉在水中均匀分散而成,具有良好的分散稳定性,广泛适用于超精密抛光。光学玻璃和宝石对加工的精度有着极高的要求,纳米金刚石研磨液可以在保持较高磨削速率的同时,形成高质量的加工表面。
CMP抛光液的应用:
1. LED行业
目前LED芯片主要采用的衬底材料是蓝宝石,在加工过程中需要对其进行减薄和抛光。蓝宝石的硬度极高,普通磨料难以对其进行加工。在用金刚石研磨液对蓝宝石衬底表面进行减薄和粗磨后,表面不可避免的有一些或大或小的划痕。CMP抛光液利用“软磨硬”的原理很好的实现了蓝宝石表面的精密抛光。随着LED行业的快速发展,聚晶金刚石研磨液及二氧化硅溶胶抛光液的需求也与日俱增。
2.半导体行业
CMP技术还广泛的应用于集成电路(IC)和超大规模集成电路中(ULSI)对基体材料硅晶片的抛光。随着半导体工业的急速发展,对抛光技术提出了新的要求,传统的抛光技术(如:基于淀积技术的选择淀积、溅射等)虽然也可以提供“光滑”的表面,但却都是局部平面化技术,不能做到全局平面化,而化学机械抛光技术解决了这个问题,它是目前唯一的可以在整个硅圆晶片上全面平坦化的工艺技术。
Ⅱ 罗门哈斯的抛光垫交期太长了,有没有哪家好的供应商介绍下,或能替代罗门哈斯抛光垫的进口品牌
目前国内没有能替代罗门哈斯的抛光垫的.只能找个好的供应商,有较多库存的/
Ⅲ 中国芯片产业链究竟发展的怎么样
目前来说,中国在芯片材料和芯片制造设备上都取得了一定的成果,其中光刻胶,刻胶用于微小图形的加工,生产工艺复杂,技术壁垒较高。我们要知道电路设计图首先通过激光写在光掩模版上,然后光源通过掩模版照射到附有光刻胶的硅片表面,引起曝光区域的光刻胶发生化学效应,再通过显影技术溶解去除曝光区域或未曝光区域,使掩模版上的电路图转移到光刻胶上,最后利用刻蚀技术将图形转移到硅片上。
南大光电研发的ArF光刻胶是目前仅次于EUV光刻胶以外难度最高,制程最先进的光刻胶,也是集成电路22nm、14nm乃至10nm制程的关键。
基金二期募资于2019年完成,募资2000亿,社会撬动比,共8000亿。也就是目前中国合计投入14532亿,对设备制造、芯片设计和材料领域加大投资。
中国也立下了宏伟目标,明确提出在2020年之前,90-32nm设备国产化率达到50%,2025年之前,20-14nm设备国产化率达到30%,而国产芯片自给率要在2020年达到40%,2025年达到70%。
Ⅳ Cmp抛光零部件的制造属于什么行业
MP抛光垫是晶圆制造环节关键材料。晶圆制造过程中需要多 次使用CMP工艺,CMP...集成电路材料和零部件产业技术创新战略联盟
Ⅳ 柔性屏对聚氨酯抛光垫使用量影响大么
产品适合用来对半导体,光学和磁性基片中的至少一种进行平整化的抛光垫. 一般抛光是以化学机械研磨(CMP)工艺. 在常规技术中,以多层贴合方式制成抛光垫. 作为抛光片, 必须具有较高的磨削能力; 还应具有一定的透孔率和形成网络的表观结构; 另外还须具有适意的刚性,韧性,弹性, 一定的耐热性和耐碱水性能;材料的宏观性质应该介于塑料和弹性体之间的多孔性泡沫体.
Ⅵ 研磨抛光液,研磨粉,主要作用是什么
研磨抛光液是不同于固结磨具,涂附磨具的另一类“磨具”,磨料在分散剂中均匀、游离分布。研磨抛光液可分为研磨液和抛光液。一般研磨液用于粗磨,抛光液用于精密磨削。抛光液通常用于研磨液的下道工序,行业中也把抛光液称为研磨液或把研磨液称为抛光液的。
机械作用的研磨液:以金刚石、B4C等为磨料,通过添加分散剂等方式分散到液体介质中,从而形 成具有磨削作用的液体,称为金刚石研磨液、碳化硼研磨液等。磨料在分散液中游离分布,利用磨料硬度比待磨工件硬度大的原理,实现工件的研磨、减薄。根据磨料的表面、颗粒大小及研磨液配置、研磨设备稳定性等情况,研磨完成后,工件表面容易留下或大或小的划痕。所以,机械作用的研磨液一般用于粗磨,后续还需要精密研磨抛光。
化学机械作用研磨液:化学机械作用研磨液利用了磨损中的“软磨硬”原理,即用较软的材料来进行抛光以实现高质量的抛光表面,是机械削磨和化学腐蚀的组合技术,它借助超微粒子的研磨作用和化学腐蚀作用在被研磨的介质表面形成光洁平坦表面。所以化学机械作用研磨液又称为化学机械抛光液(Chemical Mechanical Polishing,简称CMP)。在一定压力及抛光浆料存在下,被抛光工件相对于抛光垫作相对运动,借助于纳米粒子的研磨作用与氧化剂的腐蚀作用之间的有机结合,在被研磨的工件表面形成光洁表面。
Ⅶ 国内外抛光液种类有哪些适用范围
产品适用范围: LED蓝宝石,光纤接口,泵元件,液晶玻璃,石晶片底,相机镜头,复印机内反光镜,容记录光盘,水晶玻璃制品,显微镜载玻片,反光镜,发动机配件,印刷电路板,垫片,压缩机配件,刀片,活塞环,阀门板,轴承圈,散热片,刹车片,起阀器,压缩硬盘模板,宝石等。 设备包括:制造销售设备类:平面研磨机.平面抛光机.双面研磨机.双面抛光机.金相研磨机.横向研磨机. 消耗品类: 1: .抛光液.润滑油 2:合成铁盘.合成铜盘.锡盘.纯锡盘. 3: .抛光布.水性研磨膏.水油两用研磨膏------ 诚明精密--------EMAIL:[email protected]
Ⅷ cmp抛光压力对抛光效果有何影响
CMP,即Chemical Mechanical Polishing,化学机械抛光。CMP技术所采用的设备及消耗品包括:抛光机、抛光浆料、抛光垫、后CMP清洗设备、抛光终点检测及工艺控制设备、废物处理和检测设备等。CMP技术的概念是1965年由Monsanto首次提出。
Ⅸ 抛光的CMP
CMP,即Chemical Mechanical Polishing,化学机械抛光。CMP技术所采用的设备及消耗品包括:抛光机、抛光浆料、抛光垫、后CMP清洗设备、抛光终点检测及工艺控制设备、废物处理和检测设备等。
CMP技术的概念是1965年由Monsanto首次提出。该技术最初是用于获取高质量的玻璃表面,如军用望远镜等。1988年IBM开始将CMP技术运用于4MDRAM 的制造中,而自从1991年IBM将CMP成功应用到64MDRAM 的生产中以后,CMP技术在世界各地迅速发展起来。区别于传统的纯机械或纯化学的抛光方法,CMP通过化学的和机械的综合作用,从而避免了由单纯机械抛光造成的表面损伤和由单纯化学抛光易造成的抛光速度慢、表面平整度和抛光一致性差等缺点。它利用了磨损中的“软磨硬”原理,即用较软的材料来进行抛光以实现高质量的表面抛光。 CMP抛光液是以高纯硅粉为原料,经特殊工艺生产的一种高纯度低金属离子型抛光产品,广泛用于多种材料纳米级的高平坦化抛光。
Ⅹ 东莞市创科材料科技有限公司怎么样
简介:Createch Abrasives 东莞市创科研磨材料有限公司 成立於2006年,制造工厂设立於东莞市南城区,主营精密研磨抛光制程材料,品质控制引入ISO9001:2000版国际品质管制系统,2007年获取TUV德国莱茵技术监护协会ROHS认证,2008年获取SGS瑞士通标行ROHS认证。 主要经营产品: * 抛光液:钻石抛光液、氧化铝抛光液、SiO2抛光液、氧化铈抛光液; * 抛光膏:钻石抛光膏、氧化铝抛光膏、金属抛光腊; * 抛光粉:碳化矽抛光粉、氧化铝抛光粉、氧化铈抛光粉、石榴石抛光粉; * 抛光垫:LP系列、KSP系列,抛光布; * 抛光盤:铸铁盤、陶瓷盤、树脂铜盤、锡盤; 研磨抛光粉末及其制品的研发和制造,产品品质符合以下国际、国家标准: * 美国ANSIB74.20-1981 * 德国DIN848-65; * 日本JIS6002-63 * 欧洲共同体FEPA; * 中国GB/T7990-1998 * 俄罗斯RocT9206-80; 创科更与行业之精英企业达成联盟,在自主创新的同时引入了更多优秀的产品,在以下品牌领域能更好的服务客户: * FUJIMI,日本不二见,世界高科技领域用研磨材料市场占有率最大; * SUMITOMO,日本住友商社,创新的半导体CMP制程产品; * SAINT-GOBAIN,法国圣戈班集团,系统化研磨产品供应商; * 3M,世界最具创新力之研磨产品供应商; * MIRKA,木工与汽车业研磨产品领导厂商; * UYEMURA,最可信赖之表面处理专家; 我们将一如既往的努力!为客户提出更完善的制程方案,更多元化的产品资源,为客户提升价值!
法定代表人:高巍巍
成立时间:2006-12-01
注册资本:500万人民币
工商注册号:441900000559148
企业类型:有限责任公司(自然人投资或控股)
公司地址:东莞市东城街道牛山外经工业园伟恒路1号二楼